电子枪种类

高分辨率的热场(Schottky)发射源

电子束加速电压

100kV

最高可到30kV

束电流大小

5pA – 200nA

5pA – 20nA

最小线宽分辨率

8nm（100μm写场）

8nm

写场拼接精度

≤ ±20nm(1000μm写场)

≤±40 nm(mean+3σ)

套刻精度

≤ ±9nm(100μm写场)

≤±40 nm(mean+3σ)

图形发生器扫描频率

125MHz

20MHz

样品支架

2寸，3寸，4寸，6寸

15mm×14mm，20mm×19mm，25mm×24mm，30mm×29mm

2寸以下的碎片，尺寸和形状均无特殊要求。

套刻Marker要求

必须是刻蚀后400nm以上的台阶或者是厚度在60nm以上的Au

无特殊要求，SEM下肉眼可见即可

开放模式

委托加工（暂行）

所内用户培训后自己操作