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技术特色
时间：2012-11-08
以微纳电子学、光电子学及微电子机械系统器件为主，集加工、测试、评估为一体的先进科技基础条件平台。掌握多项特色技术，所研发的器件在信息相关领域具有广阔的应用前景。
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