为提高服务质量和效率，增强对广大用户特别是学生的技能培养，集成技术中心从去年开始逐渐对用户开放重要工艺和测试设备，培训用户独立使用仪器设备；目前已开放的主要设备有电子束曝光、扫描电镜、光刻系统等，取得了较好的效果。鉴于此，中心决定继续扩大开放范围，本批开放的设备有：

牛津Ⅲ-Ⅴ族刻蚀设备(胡传贤老师，hucx@semi.ac.cn,82305147)，

Plasma Therm 硅基材料刻蚀设备(李艳老师，liyan@semi.ac.cn,82305045)，

Sentech 金属刻蚀设备(刘庆老师，liuqing@semi.ac.cn,82305147)，

聚焦离子束FIB（陈雪老师，chenxun@semi.ac.cn,82305405）,

Denton磁控溅射设备（王晓峰老师，wangxiaofeng@semi.ac.cn,82305403）

低温探针台（杨香老师，xyang@semi.ac.cn,82305403）,

太阳能电池I-V/量子效率测试系统（刘雯老师，liuwen519@semi.ac.cn,82305403）,

Agilent半导体参数测试仪（宁瑾老师，ningjin@semi.ac.cn,81304492）

请有相关工艺和测试需求的职工、学生即日起与相关设备负责人员联系。经培训考核合格后的人员即可自己完成相关工艺。

对于考核合格，独立熟练完成工艺和测试的用户，工艺费用较之前会有较大幅度降低，可减轻课题组负担。同时也希望考核合格的人员以认真负责的态度对待开放工艺设备，严格遵守中心的规章制度和设备操作守则，共同构建实验高效、设备稳定的良好环境。

另外，集成技术中心也将逐步开放其他具备条件的关键工艺设备，为广大用户提供更好的服务和更优惠的价格。最新信息请随时关注集成中心网站：http://sit.semi.ac.cn。

    集成技术中心

2013-04 -15