个人简历

        1998年8月至2005年12月 中科院半导体所国家工程研究技术中心 从事光学器件的前工艺制备工作，包括芯片清洗、电极制备、减薄磨抛、光学膜制备等。

        2006年至今，中科院半导体所国家集成研究技术中心 从事电子束蒸发和光刻工艺工作

研究领域

    微米和亚微米光学光刻工艺和电子束电极制备工艺

技术亮点

   光学光刻，1微米条宽的波导线条。