个人简历

• 2009.3-至今   中国科学院半导体研究所 副研究员

• 2006.7-2009.3 北京大学信息科学技术学院 博士后

• 2002.9-2006.7 中国电子科技集团电子科学研究院 博士

• 1999.7-2002.9 云南大学材料科学与工程系 讲师  

• 1996.9-1999.7 云南大学物理系 硕士

• 1992.9-1996.7 云南大学物理系 学士

研究领域

• 半导体材料

• MEMS 谐振器件
  

• MEMS 封装

成果出版

• 
  

1. Xu Mao, Jinling Yang, An Ji, and Fuhua Yang, Two new methods to improve the lithography precision for SU-8 photoresist on glass substrate, J. Microelectromech. Syst.,2012, (Accept) (SCI).

2. Xu Mao, Jinling Yang, An Ji, and Fuhua Yang, Two new methods to improve the lithography precision for SU-8 photoresist on glass substrate, MEMS 2012, Paris, FRANCE, 29 January - 2 February 2012, 337-340 (EI).

3. Xu Mao, Yumin Wei, Zhenchuan Yang*, Guizhen Yan, Fabrication of SOI MEMS Inertial Sensorswith Dry Releasing Process, IEEE SENSORS 2009 Conference, 479-482.

4. Yinfang Zhu, Jinling Yang, Xu Mao, Fuhua Yang, A new scheme for detecting infrared photon with high sensitivity using microcantilever, 6th APCOT, July 8-11, 2012, Nangjing, China. 1-2.

5. Xu Mao, Yingxia Jin, Zhenlai Zhou, Yu Yang, Xinghui Wu and Fuxue Zhang, The Research on Growth Temperature of Ge/Si Thin Films Grown by Magnetron Sputtering, Rare Metal Materials And Engineering 35: 564-566 Suppl. 3, DEC 2006 (SCI).

6. Fuxue Zhang, Xu Mao, Yu Liu, Nan Zhang and Wei Zhang, A Silicon Micromachined Gyroscope Driven By The Rotating Carrier Self , Rare Metal Materials And Engineering 35: 519-521 Suppl. 3, DEC 2006, (SCI).

7. YuMin Wei, Xu Mao, Zhenchuan Yang, GuiZhen Yan, A single mask dry releasing process for making high aspect ratio soi mems devices, IEEE-NEMS 2010 (EI).

8. Xu Mao, Zhenchuan Yang, Zhihong Li, Guizhen Yan, The Method of Prevent Footing Effect in Making SOI Micro-mechanical accelerometer, IEEE-NEMS 2009 (EI).

9. Fuxue Zhang, Xu Mao, Gasflow Style Level Posture Sensor and Angular Velocity Gyroscope Assembled Inertial Sensor, Progress in Natural Science, v 17, n 8, August, 2007, 971-978 (EI).

10. Fuxue Zhang, Hongwei Wang, Wei Zhang, Xu Mao, Nan Zhang, A Silicon Micromachined Gyroscope Driven by the Rotating Carrier's Angle Velocity, ICIA 2005, 2005, 128-133 (EI).

11. Yu Yang, Xu Mao, Hongning Li, Zhenlai Zhou, Shiji Jiang, Xinghui Wu, Shoujiang Huang,Pengxiang Zhang,Growth of Germanium Crystal Films on Amorphous Silicon by Sputter Depositon, Physical E8(2000) 72-76 (EI).

12. Xu Mao, Yu Liu, Mingqing Ding, Fuxue Zhang, The Performance of A New Silicon Micromachined Gyroscope, (APCOT 2006), Singapore 25-28 June 2006.

13. Xu Mao, Liang Ming, Yu Liu, Fuxue Zhang, A Kind of Shock Resistance Method on Silicon Micro-Machined Gyroscope, Proceedings of the 2006 IEEE, International Conference on Information Acquisition, August 20 - 23, 2006, Weihai, Shandong, China, 101-105.

14. 毛 旭， 杨振川， 李志宏， 闫桂珍, 采用防Footing工艺加工的SOI 微加速度计, 纳米技术与精密工程 8, 330-333 , 2010 （EI）。

15. 毛 旭，刘 宇，汪银年，丁明清，张福学，二维硅微机械陀螺的研究，压电与声光，29（3），298-301，2007（EI）。

16. 毛 旭，周湘萍，王 勇，杨 宇，Ge/Si薄膜材料生长的偏压效应研究，功能材料32(6) ，614-616，2001（EI）。

17. 王宏伟，毛 旭，张 伟，张福学，旋转载体用硅微机械陀螺敏感元件的研制，压电与声光， 28（2），170－172，2006（EI）。

18. 张福学，王宏伟，张　伟，毛　旭，张 楠，利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺，压电与声光，27(2)，109-117，2005（EI）。

19. 张福学，毛 旭，气流式补偿回路传感器，压电与声光，29（1），19-22，2007（EI）。

20. 周湘萍，毛 旭，张树波，杨 宇，Ge/Si多层膜热稳定性的Raman光谱研究，功能材料，32(4)，429-433，2001（EI）。

中国专利

1. 毛旭，杨晋玲，杨富华，基于金锡合金键合的圆片级低温封装方法，申请号：201010601975.1。

2. 毛旭，杨晋玲，杨富华，一种提高光刻胶曝光精度的方法，申请号：201110344422.7。

3. 毛旭，方志强，杨晋玲，基于局域加热技术的圆片级低温键合系统及装置，申请号：201110343625.4。

4. 朱银芳，魏伟伟，毛旭，杨晋玲，杨富华，一种快速射频微机械开关，中国发明专利，申请号：201210105187.2。

5. 张福学，毛旭，硅微机械陀螺，申请号：200410029089.0。

6. 张福学，毛旭，载体驱动式硅微机械陀螺，申请号：200410029228.X。

7. 张福学，毛旭， 抗冲击硅微机械陀螺，申请号：200510134857.3。

8. 张福学，毛旭， 二维硅微机械陀螺，申请号：200510134858.8。

会议展板

1. 
   

1. Xu Mao, Jinling Yang, An Ji, and Fuhua Yang, Two new methods to improve the lithography precision for SU-8 photoresist on glass substrate, MEMS 2012, Paris, FRANCE, 29 January - 2 February 2012, 337-340. (EI).

2. Xu Mao, Zhenchuan Yang, Zhihong Li, Guizhen Yan, The Method of Prevent Footing Effect in Making SOI Micro-mechanical accelerometer, IEEE-NEMS January 5, 2009 - January 8, 2009 ,Shenzhen, China (EI).

3. Xu Mao, Yumin Wei, Zhenchuan Yang*, Guizhen Yan, Fabrication of SOI MEMS Inertial Sensorswith Dry Releasing Process, IEEE SENSORS October 25, 2009 - October 28, 2009, Christchurch, New Zealand (EI).

4. Xu Mao, Yu Liu, Mingqing Ding, Fuxue Zhang, The Performance of A New Silicon Micromachined Gyroscope， (APCOT 2006), Singapore 25-28 June 2006.

5. Xu Mao，Yingxia Jin，Zhenlai Zhou，Yu Yang，Xinghui Wu and Fuxue Zhang，The Research on Growth Temperature of Ge/Si Thin Films Grown by Magnetron Sputtering ，The 6th East Asia Conference on Chemical Sensors，Nov.6-9, 2005，Guilin, China (SCI).

荣誉奖励

“Si基薄膜理论和实验研究”获云南省科学技术三等奖