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中科院大型仪器研制项目“微纳共振体表征系统研制”顺利通过验收

时间：2010-12-02

     2010年11月29-30日由中科院计划财务局组织专家对我所杨晋玲研究员负责的 “微纳共振体表征系统研制”大型仪器研制项目进行了现场验收。会议由院计财局张红松高级工程师主持，半导体所陈弘达副所长、集成中心杨富华主任、季安副主任和杨晋玲研究员参加了验收会，验收组专家有电子所夏善红研究员、微电子所刘明研究员、北京理工大学郝群教授、清华大学刘泽文教授、电子所祁志美研究员。

    由于维度和尺度效应，微纳共振体器件的物理、化学和频谱特性不同于宏观大块材料，其微观性能成为决定器件成败的关键因素，微纳尺度样品的表面状态及其所处环境条件对器件性能具有至关重要的影响。一套针对微纳尺度共振体、具有样品表面处理和可控样品环境条件的、覆盖从0.5 Hz到6 GHz宽频谱范围的通用测试平台，目前在国际上还没有先例。这一表征系统的成功研制必将极大地促进不同材料、不同结构构型的微纳共振体及其不同的振动模式研究，并最终获得性能优异的高品质因子高频/射频微纳共振体器件，加速实现微纳机电射频高Q共振器件研究的全面突破。

    在听取了项目研制报告、测试报告和使用报告，并现场考察了项目所研制的测试系统，专家组给出了高度评价，一致认为该项目组在高频/射频微纳共振体的表征系统组建、高频/射频微纳共振体研制及测试技术方面取得了突破性进展，形成了一套具有自主知识产权的微纳器共振体表征技术。例如验收专家组组长电子所夏善红研究员提出本项目研制的仪器在新型高频/射频微纳共振体器件的基础研究和应用研究方面具有重要价值，会对国家相关领域发展做出积极贡献；验收组专家清华大学刘泽文教授强烈要求该仪器要及早进入公共测试平台，早日服务于院内外科研机构，为国家和社会的发展做出更大的贡献。

    参加验收会的还有科技处徐彦之副处长、集成中心张明亮副研究员和科技处沈连成博士。

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