高分辨场发射透射电子显微镜（TEM）可用于半导体、金属、陶瓷、塑料等材料微观形貌观察、晶体结构和微区成分分析，是半导体工艺和材料研究领域不可或缺的分析手段。集成中心新购置的TEM（型号：Talos F200X）日前已经正式开始运行。其主要功能包括：

（1） 半导体、金属、陶瓷、塑料等材料的显微结构分析；

（2） 粉末、纳米颗粒形貌和粒径观察

（3）选区电子衍射和晶体结构分析；

（4）进行样品的能谱面分布分析，以及各种元素进行定性和半定量微区分析，元素检测范围：B～U。

性能参数：

序号	参数类型	性能指标
1	电子枪类型	肖特基热场发射超亮电子枪
2	加速电压	200kV
3	TEM点分辨率	0.25nm
4	TEM信息分辨率	0.12nm
5	STEM分辨率	0.16nm
6	样品倾斜角度X/Y	±30°
7	能谱	四探头，具备面扫描功能
8	能谱分辨率	136eV
9	元素检测范围	B～U元素

部分结果：

欢迎大家预约使用！

联系人：杨老师，010-82305403，xyang@semi.ac.cn