集成技术中心原子力显微镜（AFM）是Bruker提供的Dimension Edge型。与较老型号的AFM相比，该设备具有快速成像、抗干扰强、重复性好等优点。从小片到6英寸片可以直接放在样品台上测试，无需将样品裂成小片。自投入运行以来，为所内外的科研工作提供了有力的支撑，目前设备利用率良好。在许多用户要求下，经中心领导批准，决定将AFM全面开放，进一步提高其使用效率。另外，中心一台Olympus的OLS40-SU型3D激光共聚焦显微镜也对外开放使用。该显微镜既可用于常规形貌测试，还能测量探针台阶仪和AFM无法测试的特殊结构。

 

以上2台设备联系人及收费如下：

AFM：张明亮，010-82305403，zhangml@semi.ac.cn。委托测试：400元/时，所内自己测试：200元/时。

3D显微镜：赵永梅，010-82305405，ymzhao@semi.ac.cn。委托测试：600元/时，所内自己测试：300元/时。

集成技术中心

2014-3-25