为响应广大用户的要求，提高实验效率，增强对用户特别是学生技能的培养，集成技术中心现决定对光刻工艺设备开放试运行。请有光刻工艺需求的职工、学生即日起在陈燕凌老师（Email：yanling@semi.ac.cn，电话：5403）处申请。经培训考核合格后的人员即可自己完成光刻全套工艺。

对于考核合格自助进行光刻的用户，工艺费用较之前会有较大幅度降低，可减轻课题组负担。同时也希望考核合格的人员以认真负责的态度对待开放工艺设备，严格遵守中心的规章制度，共同构建实验高效、设备稳定的良好环境。

另外，集成技术中心也将逐步开放其他具备条件的关键工艺设备，为广大用户提供更好的服务和更优惠的价格。最新信息请随时关注集成中心网站。

附1：光刻机收费标准

附2. 《光刻机MJB3UV300及MA6的使用管理办法》

  为了提高光刻机的设备利用率，协调好各位用户的设备使用安排，增强责任心，特制订本办法。本设备在正常运转情况下，实行7-24开放，无普通节假日。
1、每位授权使用设备的用户务必需用自己账号实名预约下一周内的使用权。
2、用户需尽量使网上预约时间与设备使用时间相同：预约时间过长而发生设备长时间空闲（超过30分钟）情况，将按预约时间计费；如果预约时间过短，用户在预约时间内未完成工作而长时间（超过30分钟）占用他人预约时间时，必须征得下一用户同意，否则无条件停止使用，延长使用设备每小时将加收20%的费用。
3、每人每次预约的时间不超过4小时。使用设备人数较多时，每周预约时间合计最多不超过8小时；使用设备人数较少时，如果当周设备有空闲时间，可随时预约。
4、如果用户需要临时取消预约时间，要提前1天告知设备管理员申请取消。如果未取消预约而发生无人使用设备情况,将按预约时间计入设备使用费用,并按用户违规处理。5、设备使用时间计算方法：每半个小时为一个预约单位，使用时间按不小于预约时间的实际使用时长收费。
6、因上个用户实验延误而造成下个用户使用设备时间超出预约时间30分钟以上的情况，下个用户需要注明超时原因，以免增加自己的费用。
7、对于设备自身临时故障而未能顺利进行实验，用户要说明原因，以适当减免费用。
8、授权用户需要认真诚实填写设备服务记录表，不得虚假填报预约时间和使用时间。如果发现虚假填报，用户将被罚以致取消使用资格。
9、设备出现任何故障及不明情况，要及时向设备管理员报告。凡是故意隐瞒不报告而发生损失者，根据加工服务协议，用户课题组将承担相应赔偿责任。
10、获得授权的用户只能使用光刻机MJB3UV300及MA6，不能任意动用超净线内其他设备。
11、对于违规的用户，将按集成技术中心超净工艺线的相关规定处理，后果自负。
 

集成技术中心

2013年1月21日