2012年4月27日至28日，北京纳米科学大型仪器区域中心为促进各成员单位间技术交流与合作，提升纳米科学技术的研发和创新能力，由国家纳米科学中心牵头，中国科学院半导体研究所和中国科学院微电子研究所联合承办了区域中心首届以“半导体工艺技术”为主题的技术交流会。区域中心牵头单位国家纳米科学中心及所属8个研究所（物理所、化学所、微电子所、高能所、半导体所、电工所、过程所、理化所）的区域中心工作组成员、共享仪器设备操作员和相关工艺人员等五十余人参加了此次技术交流会。

中国科学院半导体研究所杨富华研究员主持此次会议并致欢迎词。首先，国家纳米科学中心的区域中心工作组代表熊玉峰高级工程师介绍了北京纳米科学大型仪器区域中心的工作及本次“半导体工艺技术”交流会举办的目的和意义，鼓励区域中心各成员单位间不断加强技术交流合作，共同为中科院纳米科技发展的仪器设备研发及相关技术平台的支撑做贡献。

随后，来自北京纳米科学大型仪器区域中心成员单位的多位资深技术专家作了与仪器设备共享和相关工艺技术的精彩学术报告，并与大家充分交流和互动。最后，在经验交流和讨论环节，北京纳米区域中心各成员单位代表纷纷发言，介绍自己平时的相关工作经验和体会，参会代表一致认为此次“半导体工艺技术”交流会给大家提供了一个非常好地展示和交流平台，并对交流会成果予以肯定，同时希望区域中心工作组今后能继续组织不同研究方向的技术交流活动。

 

交流会现场